水蒸汽发生器
Liquid quantitative evaporator

FDH

将液态水定量稳定蒸发汽化

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高温加热炉

FDL

高温加热炉

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湿度发生器
Liquid quantitative evaporator

FTH

将液态水定量稳定蒸发汽化，与干气混合、恒温，实现气体温度湿度控制

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石英玻璃水蒸汽发生器
Liquid quantitative evaporator

FDB

定量液态水在石英玻璃蒸发器内稳定蒸发汽化

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